화학뉴스

Dow Chemical이 국내 반도체 시장에서 퇴출 위기를 겪고 있다.
국내 반도체 생산기업 S사가 최근 Dow Chemical로부터 공급받은 노광용 네거티브 불화크립톤(KrF) 포토레지스트(감광제)를 활용해 제조한 웨이퍼 8만장에서 불량이 발생함에 따라 치명적인 문제가 발생한 7000-8000장 가량을 폐기한 것으로 알려졌기 때문이다.
폐기한 웨이퍼를 제외한 나머지는 일정 수준 이상의 수율을 유지한 것으로 파악되고 있다.
S사는 계측공정 수행 과정에서 문제를 발견하고 라인 가동을 일시중단한 후 문제 원인을 조사했으며 Dow Chemical이 특정 기간 동안 생산한 포토레지스트 소재에서 파티클(먼지입자) 함유 비중이 정상치보다 높게 측정됐다는 결과를 발표했다.
Dow Chemical도 조사 결과를 수긍하고 각종 보상안을 제안했으나 S사는 또다시 같은 사고가 반복될 수 있다는 우려 때문에 한국, 일본기업으로 거래선 다변화를 타진하고 있다.
Dow Chemical 측이 수요처를 공개하지 않고 있으나 일부에서는 S사가 SK하이닉스이고, SK이노베이션의 포토레지스트를 채용할 가능성이 높다는 추측을 제기하고 있다.
SK이노베이션이 6월 셋째주 SK하이닉스 공급을 목적으로 포토레지스트를 개발하고 있으며 이미 일부 시제품 출하 후 개선 사항을 전달받고 양산화를 추진하고 있다고 밝혔기 때문이다.
반도체 관계자는 “국내 반도체 생산기업들이 대부분 Dow Chemical의 포토레지스트를 채용하고 있어 같은 문제가 되풀이될 수 있다는 우려가 확산되고 있다”며 “Dow Chemical은 해당 사고로 신뢰도에 치명타를 입게 됐다”고 설명했다. <강윤화 기자>