화학뉴스

일본 TOK가 한국에서 반도체용 EUV(극자외선) 레지스트 생산에 나선다.
TOK는 차세대 반도체 기술에 대한 투자를 확대하기로 결정하고 먼저 일본 사가미(Sagami) 공장에서 세계 최초로 알려진 위험물 대응 초고기능 클린룸(CR)과 신소재 개발용 오픈 이노베이션 시설을 구축할 계획이다.
해외에서는 한국, 타이완, 미국 기존 생산거점에 차세대 EUV 레지스트, 주변약제 생산을 시작함으로써 선행투자를 통해 새로운 사업기회를 창출해나갈 방침이다.
일본 사가미 공장은 TOK의 핵심 생산거점으로 EUV 레지스트 경쟁력을 향상시키기 위해 주력해왔으며 조만간 클래스3으로 알려진 고기능 클린룸을 갖춘 신규 생산동을 완공할 것으로 알려졌다.
EUV 레지스트는 초고순도를 유지해야 하기 때문에 보틀링 등도 브레이크스루가 필요하며, 신규 생산동은 EUV 관련 기술을 종합적으로 개발하는데 목적을 두고 있기 때문에 위험물 대응이 가능한 초고기능 클린룸으로 완성할 계획이다.
차세대 소재 개발을 위한 오픈 이노베이션 시설을 갖춘 신규 생산동도 함께 건설한다.
투자처인 벤처기업이 개발한 소재 실증 등을 원활하게 진행할 수 있도록 마무리할 계획이며, 클린룸 생산동과 함께 2019년 안에 완공하고 9월경 본격 운영 및 가동이 가능할 것으로 예상하고 있다.
EUV 레지스트는 반도체 메이저가 많은 한국 인천공장에서도 생산을 시작할 계획이다.
한국공장은 한국은 물론 중국에도 ArF(불화아르곤) 액침 레지스트를 공급하며 높은 수준의 가동률을 유지하고 있으며 2020년경 생산설비 증설을 통해 EUV 레지스트 생산체제를 갖출 것으로 예상된다..
TOK는 현재 EUV 레지스트 선폭 3나노미터 시대 공략을 위해 다양한 전략을 세우고 있다.
미국과 타이완에서는 고순도 약제 생산을 강화할 방침으로, 타이완에서는 2020년 하반기까지 생산설비를 증설하고 선폭 5나노미터 이하의 새로운 차세대 프로세스에 대응할 수 있는 각종 약제를 양산할 계획이다.
미국공장은 생산설비 증설을 통해 2019년 하반기부터 세정제 등 신규 클린 솔루션으르 양산한다.
TOK가 일본 및 해외 생산설비 증설에 투입하는 금액은 165억엔(약 1650억원) 수준으로 추산된다. (K)