일본 정부가 한국에 대한 수출규제 조치를 단행한 이후 처음으로 고순도 불화수소(에칭가스) 수출을 허가했다.
불화수소는 반도체 제조공정에서 회로를 새기거나 불순물을 제거하기 위해 사용하는 핵심 화학소재이다.
일본 경제산업성은 8월29일 불화수소 수출 1건을 허가했다. 일본에서 수입한 불화수소는 국내 가공을 거쳐 삼성전자에 공급될 예정이다. 
일본 정부는 7월4일 반도체와 디스플레이 공정에 사용되는 3대 핵심소재인 고순도 불화수소, 불소계 폴리이미드(PI: Polyimide), 극자외선(EUV) 파운드리용 포토레지스트(감광재) 수출규제를 선언했다.
포토레지스트는 8월7일과 19일 2차례 수출을 허가했다. 반도체 제조라인의 극자외선 공정에 사용되는 포토레지스트는 반도체 기판 제작에 쓰이는 감광액 재료이다.
고순도 불화수소는 일본이 수출을 허가했지만 7월 일본산 수입물량은 6월에 비해 80% 이상 감소했다.
일본 재무성 무역통계에 따르면, 7월 고순도 불화수소의 한국 수출량은 479톤으로 6월에 비해 83.7% 격감했다. 
한국무역협회 집계에서도 불화수소는 2019년 1-5월 일본산 수입의존도가 50% 미만으로 떨어진 것으로 나타났으나 불소계 폴리이미드 및 극자외선 포토레지스트는 90%를 넘었다.