SCC, 2024년까지 신규공장 건설 … 고순도 암모니아수도 증설

스미토모케미칼(SCC: Sumitomo Chemical)이 한국에서 반도체 소재 투자를 확대하고 있다.
스미토모케미칼은 2021년 8월24일 일본과 한국에서 반도체용 고순도 약품 생산 확대 계획을 발표한데 이어 8월31일에는 한국에서 최첨단 반도체의 회로 형성에 사용하는 포토레지스트 생산한다고 공개했다.
고순도 약품 생산 확대를 위해 한국과 일본에 총 수십억엔을 투자한다.
스미토모케미칼은 일본 에히메(Ehime)와 한국 익산 및 평택, 중국 시안(Xian)과 창저우(Changzhou) 등 5개 공장에서 반도체용 고순도 약품을 생산하고 품질보증 제도를 통해 공급하고 있다.
에히메 공장은 고순도 황산만을 생산하고 있으며 2024년 상반기 가동을 목표로 생산능력을 약 2배 확대할 예정이다.
한국에서는 100% 자회사 동우화인켐의 익산공장에서 고순도 과산화수소수와 암모니아수, IPA(Isopropyl Alcohol) 등을 생산하고 있으며 최근 국내 반도체 대기업들의 신증설 투자가 잇따르고 있어 2023년 하반기까지 고순도 암모니아수를 약 40% 증설하기로 결정했다.
반도체용 고순도 약품은 반도체 제조 시 금속, 유기물 등 불순물을 정밀하게 세정해 함유량을 ppt(1조분의 1) 수준까지 낮출 수 있는 초고순도화 기술이 요구되면서 수요가 급증하고 있다. 
스미토모케미칼은 2021년 고순도 약품 사업 매출이 2017년에 비해 2배 증가할 것으로 기대하고 있으며 중국공장 증설도 검토하고 있다.
한국에서는 첨단 반도체용 ArF(불화아르곤) 레지스트를 직접 생산하기로 결정했다.
동우화인켐 익산공장에 수십억엔을 투자해 액침 ArF 레지스트용 생산설비를 신규 도입하고 2024년 상반기 상업가동할 예정이다.
액침 ArF 레지스트는 그동안 일본 오사카(Osaka) 공장에서만 생산했으나 5G(5세대 이동통신) 시대가 도래하면서 첨단 로직 및 메모리 반도체 제조 프로세스용 수요가 증가하고 있다. 특히, 주요 수요기업인 국내 반도체 대기업들이 일본의 수출규제를 피해 한국에서 생산할 것을 요구함에 따라 투자를 결정했다.
동우화인켐은 20년 이상 i선과 KrF(불화크립톤) 레지스트를 생산하고 있다.
액침 ArF 레지스트는 일본에서 원료를 들여와 혼합제품으로 제조한 후 국내 반도체 대기업에게 공급할 계획이며 조합설비 도입 및 스펙을 높일 수 있는 품질 평가체제 확충을 준비하고 있다.
스미토모케미칼은 일본 오사카 공장에서도 레지스트 증설을 추진할 예정이다.
오사카 공장은 2022년 중반 완공을 목표로 증설공사를 추진하고 있으나 수요가 계속 증가하고 있어 2023년 상반기까지 액침 ArF 레지스트와 EUV(극자외선)용 레지스트 생산라인을 도입하는 추가 투자를 결정했다.
스미토모케미칼은 한국과 일본에서 추진하는 투자가 완료되는 2024년경 ArF와 액침 ArF, EUV용 레지스트 생산능력이 2019년에 비해 2.5배 확대될 것으로 예상하고 있다.
현재 모노머와 수지, 감광소재 등 포토레지스트 원료를 일부는 자체 생산, 나머지는 외부에서 조달하고 있으며 한국‧일본 신증설에 맞추어 원료도 소규모 증설을 추진할 예정이다.
스미토모케미칼은 포토레지스트 메이저이며 액침 ArF 레지스트는 글로벌 시장의 30%를 점유하고 있다.
앞으로는 성장이 기대되는 액침 ArF 레지스트 사업에서 높은 시장점유율을 유지하면서 EUV용도 액침 ArF 레지스트 수준의 시장점유율을 확보할 수 있도록 육성해 2030년에는 포토레지스트 매출액을 현재의 2배로 확대하는 것을 목표로 하고 있다. (강윤화 선임기자)