미츠비시가스케미칼(MGC: Mitsubishi Gas Chemical)이 초고순도 과산화수소수 고도화에 나서고 있다.
미츠비시가스케미칼은 최근의 반도체용 수요 증가에 대응해 세계 각지에서 초고순도 과산화수소수 생산능력 확대를 실시하고 있으며 추가적인 고순도화에도 주력하고 있다.
일본 요카이치(Yokkaichi) 공장을 중심으로 기술을 개량하고 있으며 현재까지 불순물 농도를 ppt(1조분의 1) 수준으로 낮추는데 성공한 것으로 알려졌다.
앞으로는 해외 사업장에도 고순도 기술을 적용함으로써 수요기업의 니즈를 충족시키는 것은 물론 반도체산업 발전에 기여하는 것을 목표로 설정하고 있다.
또 앞으로도 반도체 수요 급증 추세가 이어질 것이라는 전망 아래 현재 계획하고 있는 과산화수소 및 초고순도 과산화수소수 신증설 프로젝트 외에 추가적인 설비투자를 검토하고 있다.
초고순도 과산화수소수는 과산화수소를 정제해 순도를 높인 것으로 반도체 웨이퍼와 기기 제조공정에서 세정, 에칭, 연마 용도로 사용되고 있다.
미츠비시가스케미칼은 일본 3곳, 한국 2곳, 미국 3곳 등 세계 5개국 10개 공장 체제를 통해 초고순도 과산화수소수를 공급하는 글로벌 최대 메이저이며 최근 수요 증가에 대응해 각지에서 설비투자에 나서고 있다.
2020년에는 미국 텍사스와 오리건에 신규공장을 완공하고 상업생산을 시작했으며 타이완에서는 2023년 완공을 목표로 원료 과산화수소 공장 건설을 준비하고 있다.
중국에서는 2020년 과산화수소 공장 건설을 시작해 2022년 상반기 상업가동이 가능할 것으로 예상되며 2024년 3월까지 세계 11번째인 초고순도 과산화수소수 공장을 건설하는 방안도 검토하고 있다.
미츠비시가스케미칼은 초고순도 과산화수소수 생산능력 확대 외에 고순도화에도 총력을 기울이고 있다.
불순물을 최소한으로 줄이면서 안정성까지 확보하기 위해 현재의 제조공법을 최초로 도입했던 요카이치 공장을 중심으로 분석능력의 한계에 도전하고 있으며 기술 완성 후 해외 사업장에도 확대 적용할 계획이다.
최근에는 반도체산업이 예상을 뛰어넘을 만큼 빠르게 성장함에 따라 현재까지 계획한 것 이외에도 타이완이나 미국 등에서 추진할 추가 설비투자도 적극 검토하고 있다. (K)