화학뉴스

Showa Denko Materials(SDM)는 반도체 배선 가공에 사용하는 CMP(화학적 기계연마) 슬러리 사업을 강화하고 있다.
글로벌 시장을 약 50% 점유하고 있는 산화세륨계 슬러리는 반도체 프로세스가 미세화되면서 시장이 확대되고 있어 수요 증가에 대응해 한국, 일본, 타이완에서 생산 확대를 추진하고 있다.
쇼와덴코(Showa Denko)와의 경영체제 통합에 따른 시너지 효과에 따라 시장 성장률을 상회하는 수준의 고성장이 가능할 것으로 기대하고 있다.
슬러리는 첨단 프로세스 반도체가 늘어남에 따라 수요가 증가할 것이 확실시되고 있다.
로직 반도체는 3나노미터 이하로 프로세스가 미세화되고 데이터 보존에 사용하는 플래시메모리는 200층 이상으로 다층화됨에 따라 각 층을 정밀하게 연마해 평탄화하는 슬러리의 역할이 중요하기 때문이다.
SDM은 세륨부터 슬러리까지 일관생산체제를 구축하고 있어 요구에 따라 커스터마이징할 수 있는 범위가 넓을 뿐만 아니라 개발 측면에서도 우위를 점할 수 있는 강점이 있다.
독자적으로 개발한 나노세륨은 입자가 10나노미터 이하로 세계에서 가장 작으며 응집을 억제하는 분산기술을 보유하고 있어 타사에 비해 진한 상태로 공급할 수 있는 것으로 알려졌다.
나노세륨은 절연막 등에 흠집이 발생하지 않기를 바라는 수요기업의 요구에 대응해 개발했다. 연마에 따른 흠집이 발생하면 도전성이 열화하거나 뒤틀려 수율이 떨어지기 때문이다.
최근에는 상반되는 특징인 고속연마를 양립시키는 기술이 중요해지고 있으며 차세대 반도체 프로세스에 대응하는 새로운 슬러리 개발이 선결과제로 부상하고 있다.
아울러 SDM은 반도체 메이저가 신규 공장을 완공하는 2023년에 대비해 한국, 일본, 타이완에서 증설을 추진하고 있다.
구체적으로는 쇼와덴코에 편입되기 전 히타치케미칼(Hitachi Chemical) 시절인 2018년 30억엔을 투입해 생산능력을 5배로 확대했으며 SDM으로 출범한 후에는 2020년 12월 110억엔을 투입해 생산능력을 30% 확대하는 계획을 세웠다.
한국에서는 처음으로 CMP 슬러리 전용공장을 건설해 2020년 가을 신규 가동했으며 타이완에서는 생산라인을 증설해 2022년 1월 가동을 시작할 예정이다.
모공장인 이바라키(Ibaraki) 소재 야마자키(Yamazaki) 공장도 수시로 생산체제를 강화하고 있으며 쇼와덴코가 가동하고 있는 나가노 소재 시오지리(Shiojiri) 공장에서는 CMP 슬러리를 소규모로 생산하기 시작했다. (J)