화학뉴스

SK실트론(대표 장용호)이 국산 초순수를 공급한다.
김장호 구미시장은 5월15일 초순수 국산화 정식공급(1단계)을 앞두고 SK실트론의 실증 플랜트 건설 현장을 방문해 초순수 생산설비 확인 후 관계자를 격려했다.
초순수는 반도체 생산 공정에서 기판인 웨이퍼 표면의 이물질을 세척하기 위해 사용되는 용수로 세척액이 오염되면 반도체 회로 공정에 치명적인 손상을 줄 수 있기 때문에 미생물, 전해질, 유기물 등 불순물을 거의 제로(0)상태로 제거하는 극정제화 작업을 거쳐야 한다.
수돗물을 생산하는 정수장 공정이 7단계인 반면, 초순수는 25단계 공정을 거치며 세밀하고 복잡한 공정 때문에 일본, 미국, 유럽연합(EU) 등 선진국만 생산기술을 보유하고 있다.
현재 삼성전자와 SK하이닉스 반도체 공장에 있는 초순수 설비는 일본·미국산 장치를 사용하고 일본 초순수 생산기업들이 설계 및 분석을 맡고 있어 환경부, 한국수자원공사는 국산화를 추진해왔다.
SK실트론 구미2공장에 하루 2400톤의 초순수 실증 플랜트를 건설하는 것으로 해외기업 플랜트와 기술력을 비교검증하기 위해 총 3단계로 운영할 계획이다.
5월 말부터 정식 공급하는 1단계 플랜트는 그동안 외국에 의존했던 설계시공을 최초로 국산화한 플랜트로 하루 1200톤을 SK실트론 웨이퍼 공정에 공급한다.
연말까지는 국내 장비를 적용해 1200톤의 2단계 국산화 플랜트를 추가하고 이후 3단계로 플랜트 운영 효율 향상을 위한 디지털 트윈 베이스 운영 시스템을 구축함으로써 성능 평가를 완료할 예정이다.
이를 통해 초순수 공정의 최대 60%를 국산화할 것으로 기대하고 있다. (강)