중국이 반도체용 특수가스 생산을 확대하고 있다.
사이노켐(Sinochem)은 자회사 Haohua Chemical을 통해 반도체·LC((Liquid Crystal) 패널 공정용 수요 증가에 대비해 5번째 특수가스 프로젝트를 추진하고 있다.
Haohua Chemical은 쓰촨성(Sichuan) 동부 쯔궁(Zigong)에 약 11억위안(약 2072억6200만원)을 투자해 삼불화질소(NF3) No.1 라인 4000톤, No.2 라인 2000톤, 고순도 암모니아(NH3) 4000톤, 액화질소 1만톤 설비를 건설할 계획이다.
NF3 No.1 라인 완공은 2026년 8월 예정이며 No.2 라인은 2027년 초로 예상하고 있다.
Haohua Chemical은 중국 및 글로벌 디스플레이, 반도체, 석유·화학 메이저에게 일반공업용 가스 및 특수가스를 공급하고 있다.
특수가스 생산제품은 NF3, 육불화텅스텐(WF6), 사불화메탄(CF4) 육불화유황(SF6) 등이며 2022년 수요 확대에 대응해 주력인 뤄양(Luoyang) 공장을 7000톤으로 증설했다.
Haohua Chemical은 뤄양 뿐만 아니라 다롄(Dairen), 우한(Wuhan), 청두(Chengdu)에 생산·물류기지를 가동하고 있으며 생산능력은 NF3 5000톤, WF6 700톤, CF4 1450톤, SF6 1000톤으로 현지소비 체제를 확립했다.
현재 중국 반도체 시장이 AI(인공지능) 및 파워반도체용 일부를 제외하면 여전히 둔화된 상태임에도 불구하고 뤄양 공장 가동률은 90%로 높은 수준을 유지하고 있는 것으로 알려졌다.
Haohua Chemical은 중국이 반도체와 LC·LED(Light Emitting Diode) 디스플레이, 태양광 패널, 의료기기 생산능력을 계속해서 확대함에 따라 관련제품 생산공정에 필수적인 특수가스 수요 역시 장기적으로 증가할 것으로 확신하고 불소계 등 고순도가스 개발·생산체제를 계속해서 강화할 방침이다. (윤)