다이킨(Daikin)이 반도체 시장을 중심으로 불소화학 사업을 확대하고 있다.
다이킨은 PTFE(Polytetrafluoroethylene), PFA(Perfluoroalkoxy Alkanes), FEP(Perfluoroethylene Propylene), PCTFE(Polychlorotrifluoroethylene), ETFE(Ethylenetetrafluoroethylene) 등을 공급하고 있으며 반도체 제조장치 부품 특성에 맞추어 내열·내약품성, 고속성형성 등의 특징을 활용해 시장을 공략하고 있다.
내약품성 및 피로균열 내성을 살려 약액저장부품, 커플링, 밸브 분야에서 채용을 확보할 수 있을 것으로 기대하고 있으며 수요 증가에 대응하기 위해 2030년까지 반도체용 라인업 공급능력을 2배 이상으로 확대할 방침이다.
커플링·밸브용으로는 PFA를, 반도체 제조용 고순도 약액 저장탱크 부품용으로는 PFA와 PTFE를 공급하고, 페인트 시장에는 불소 특유의 난연성과 내약품성을 살려 부식성 가스용 배기덕트 내면 코팅 등으로 홍보하고 기계적 특성이 우수한 ETFE, FEP 라인업을 갖추어 고도화하는 니즈에 대응할 방침이다.
다이킨은 반도체 공정용 소재로 고순도 에칭가스와 에칭액 사업도 영위하고 있다.
에칭가스는 글로벌 생산체제를 건설 중이며 한국과 중국 등에서 증설을 추진하고, 에칭제는 세계에서 유일한 웨트·드라이 그레이드를 공급 가능한 강점을 살려 공급을 확대할 계획이다.
앞으로 최첨단 반도체 공장을 지원하기 위해 불소화학 라인업을 확충할 방침이며, 수지·고무·에칭가스 등 라인업을 확대해 공급안정 현실화에 주력할 예정이다.
파워반도체용 절연막 시장도 공략하기 위해 불소 실란트 코팅 소재 양산화를 준비하는 등 반도체용 신제품 개발에도 속도를 낼 것으로 예상된다. (윤)