2026년 03월 07일 (토)
2024년 10월 07일


반도체산업은 미세공정에 대응하는 EUV(극자외선)용을 중심으로 차세대 소재 개발이 활기를 띠고 있다.
네덜란드 ASML은 최근 1.4나노 프로세스에 대응하는 반도체 미세공정용 High-NA(고개구율) 노광기를 미국 인텔(Intel)에게 공급했다.
다만, 아직 리소그래피 스펙이 결정되지 않아 포토마스크와 페리클 공급기업들은 ASML과 기술 테스트를 담당하며 글로벌 연구개발(R&D)을 선도하는 벨기에 IMEC(Interuniversity Mi
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[게시일 2011년 2월1일]

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