삼성코닝, 웨이퍼연마용 시험공장 가동
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삼성코닝이 수원공장에 반도체웨이퍼 표면을 갈 때 쓰이는 '세리아 나노파우더'를 만드는 시험 공장을 가동하기 시작했다. 시험공장은 세계에서 처음으로 MCP(Mechano Chemical Process)제조공법을 적용해 건립한 것으 로 총 30억원을 투자했다. MCP공법은 나노(1나노 10억원의 1미터)파우더의 입자크기를 쉽게 제어할 수 있고 고체·액체를 기체화해 입자를 만드는 기존 공법에 비해 제조공 정이 간단하고 2배 이상의 원가경쟁력을 갖 추고 있다. 박영구 삼성코닝 사장은 세리아 나노 파우더는 웨이퍼를 갈 때 발생될 수 있는 긁힘현상을 대 폭 줄일 수 있고 성능도 우수해 유기 EL용 유리와 정밀광학부품 등 최첨단 초정밀 제품연마에 도 적합하며, 나노 파우더 사업을 미래 핵심 수종사업의 하나로 집중 육성하겠다고 밝혔다. 삼성코닝은 2002년부터 세리아 나노 파우더를 본격 양산하기 시작해 2005년 300억원, 2010년 1 000억원의 매출을 올릴 계획이다. 또 앞으로 자외선 차단용 알루미나 나노 파우더, 촉매용 지르코니아 나노 파우더, 디스플레이 용 ITO 나노파우더 등의 사업으로 확대해나갈 방침이다. <Chemical Daily News 2001/11/21> |
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