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[농화학]
주성엔지니어링, 특정가스 박막증착장치 특허

  주성엔지니어링은 2월16일 박막증착방법 및 장치에 관한 특허를 획득했다고 공시했다.
  주성엔지니어링은 고온에서 분해되는 특정 가스물질이 반응가스로 사용될 때 박막의 순도 및 특성에 영향을 주지 않으면서 생산성을 크게 증대시킬 수 있는 박막 증착방법 및 이를 가능하게 하는 박막증착장치의 특허를 획득했다.
  <화학저널 2005/02/17>
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