반도체 웨이퍼, 단결정 기술이 핵심
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특허청, 2004년 이후 특허 연평균 100건 출원 … 균질 단결정물질 급증 최근 차세대 반도체 산업의 급성장으로 결함이 존재하지 않는 단결정(Single Crystal) 제조 및 성장에 관련된 특허 출원이 증가하고 있다.
즉, 용융액 표면에 고체의 작은 씨(Seed)를 담근 후 천천히 끌어올려 작은 씨와 같은 결정 방향을 가진 단결정 막대기(Ingot)를 만드는 방법이다. 단결정은 재료에 따라 압전성, 투광성, 발광성 등과 같은 물성을 가지고 있기 때문에 진동자 및 레이저 등에도 사용되지만, 주로 사용되는 곳은 반도체 웨이퍼 분야이다. 특허청에 따르면, 단결정 성장기술 관련특허 출원은 2000-05년 6년간 총 582건의 출원이 이루어졌다. 2000년 85건이었던 출원은 꾸준히 증가해 2004년 이후에는 연평균 100건을 상회하고 있다. 총 출원 582건 가운데 외국인의 출원은 359건인 61.7%, 내국인 출원 223건인 38.3%를 나타내고 있으며, 특히 내국인 출원은 2000년 27건이었으나 2003년 36건, 2005년 46건으로 증가 추세에 있는데, 내국인의 단결정 성장기술에 대한 높은 관심이 반영된 것으로 분석된다. 단결정 성장기술 관련특허 출원을 기술분야별로 살펴보면, 2000-05년 6년간 총 582건 가운데 액상 단결정 성장분야는 292건인 50.2%를 나타내고 있으며, 이후 균질 단결정 물질분야가 178건인 30.6%, 기상 단결정 성장분야는 65건인 11.2%를 나타냈다. 특허청 관계자는 “반도체 시장의 확대는 고품질의 단결정이 요구되고 단결정 및 반도체 웨이퍼 제조기업들로 하여금 기존의 방법보다 새로운 단결정 성장의 기술개발을 강요하고 이에 따라 개발된 기술에 대한 출원도 지속적으로 증가할 것”이라고 밝혔다. 표, 그래프: | 단결정 성장기술 관련특허 출원동향 | <화학저널 2006/09/19> |
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