Air Product, WF6 14만파운드로 증설
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Air Product & Chemicals은 97년내에 미국 Hometown 소재 Tungsten Hexafluoride(WF6) 플랜트 생산능력을 약 14만파운드로 증설할 계획이다. 이번 증설은 반도체 수요증가에 따른 것으로 시장상황에 따라 증설을 계속할 방침이다. 반도체용 가스로는 WF6 외에도 Nitrogen Trifluoride, Hexafluoroethane, Carbon Tetrafluoride, Chlorine Trifluoride, Sulfur Hexafluoride, Bromine Trifluoride 등이 사용된다.<CMR 97/04/07> <화학저널 1997/5/19> |
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