소니, 표면조사형 센서 양산 … 후지필름은 유기광도전막 센서 개발 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 시장에 새로운 바람이 불고 있다.CMOS는 디지털카메라를 비롯해 자동차 탑재기기로 용도를 확대하는 가운데 소니(Sony)와 후지필름(Fuji Film)을 중심으로 고속화, 화소 미세화 대응이 추진되고 있다. 소니가 개발한 표면조사형 CMOS 센서 <Exmor R>은 어두운 곳에서도 노이즈가 적은 고화질 활영이 가능하다.
기존의 CMOS 센서는 마이크로렌즈를 통과한 빛이 PD에 도달하기까지 배선층을 통과하기 위해 감도를 올라가지 않고, 노이즈도 컸으나 표면조사형은 두께 8마이크로미터의 극박형 웨이퍼 뒷면으로 빛을 채집하기 때문에 배선층을 경유하지 않는 것이 특징이다. 원리는 단순하지만 지금까지 상용되지 못한 것은 노이즈원이 늘어나고, 양산기술 확립이 어려웠기 때문이나 소니가 세계 최초로 양산화에 성공해 Sony Semiconductor Kyusyu의 구경 200mm 웨이퍼 라인에서 생산하고 있다. 후지필름은 센서의 역할을 유기박막으로 이전시킴으로써 화소 사이즈 1마이크로미터에도 대응할 수 있는 Panchro 유기광도전막적층형 CMOS 센서를 개발했다. 컬러필터로 들어온 입사광을 유기광도전막 센서로 광-전변환해 화소신호를 읽어냄으로써 회로에 수송하는 구조로 두께는 0.5마이크로미터이며 진공가열증착 프로세스에서 제조하고 있다. 흡수계수가 실리콘보다 높고 두께가 얇아 마이크로렌즈가 필요 없으며, 입사광 누광에 따른 혼색도 억제하는 것으로 알려졌다. 후지필름은 화소 사이즈 3마이크로미터에서 시험 제작 해상도 및 잔상 문제가 없는 것으로 확인하고 앞으로 노이즈 감소에 매진함으로써 실용화를 추진해나갈 방침이다. 표, 그래프: | Sony의 표면조사형 CMOS 센서 | <화학저널 2009/9/10> |
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[전자소재] CMOS 이미지센서 개발 한국주도 | 2005-07-15 |
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[전자소재] CMOS | 2010-04-19 | ||
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