Kanto, 불소 특수가스 증설
NF3와 CF4 확대… 반도체·태양전지용 수요 증가 대응
화학뉴스 2011.11.17
Kanto Denka Kogyo가 불소(Fluorine)계 특수가스 생산능력을 잇달아 확대할 방침이다.
주 용도인 반도체·LCD(Liquid Crystal Display) 패널 제조공정의 클리닝과 박막계를 중심으로 태양전지 제조공정에 사용되는 셀 클리닝용 수요가 호조세를 보이고 있어 NF3(삼불화질소)와 CF4(사불화탄소)를 증설하기로 했다. NF3는 2011년 1월 Gunma의 Shibukawa 공장 생산능력을 2700톤에서 3000톤으로 확대한데 이어 2012년 2월까지 3500톤 체제를 구축할 계획이다. CF4도 증설을 위해 최근 공사에 착수했으며 1000톤에서 1100톤으로 10% 확대해 2012년 6월부터 가동할 예정이다. Kanto Denka Kogyo는 불소와 염소 관련기술을 바탕으로 다양한 유도제품을 생산하고 있다는 점을 활용해 반도체·LCD 및 전지를 비롯해 정보전자기기, 의약·농약 등 폭 넓은 분야를 대상으로 공급하고 있으며 NF3는 최대의 세계시장 점유율을 자랑하고 있다. Kanto Denka Kogyo는 잇따른 증설로 반도체·LCD 패널의 클리닝 용도 뿐만 아니라 앞으로 신장이 기대되는 태양전지 제조공정용 클리닝 수요에 대응함과 동시에 사업기반을 한층 강화해 주력사업인 불소계제품 사업 확대에 박차를 가할 방침이다. <화학저널 2011/11/17> |
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