고어, 고유량 HDPE 필터 공급
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ePTFE 멤브레인 기술 적용 … 유량 400% 향상에 코스트 절감
화학뉴스 2012.02.06
고어(Gore)가 차세대 멤브레인이 적용된 HDPE 카트리지 필터를 개발했다.
고어는 반도체, 평판 디스플레이에 사용되는 화학공정용 ePTFE(expanded Polytetrafluoroethylene) 멤브레인이 적용된 HDPE(High-Density Polyethylene) 카트리지 필터 신제품을 개발했으며, 2월7-9일 코엑스에서 개최되는 <2012 SEMICON KOREA> 전시회에서 공개할 예정이라고 2월6일 발표했다.  필터는 0.1㎛, 30nm, 20nm 등 3가지로 생산되며 세계 최초로 20nm급 PTFE 멤브레인 HDPE 카트리지 필터를 개발했다는 점에서 주목되고 있다. 차세대 ePTFE 멤브레인은 다공성 면적이 넓기 때문에 유량이 높고 입자 제거율이 향상됐으며, 카트리지 필터에서 PTFE 외는 모두 고농도의 HDPE를 사용해 유기 및 금속이온의 점도를 현저히 낮추었다. 고어에 따르면, 입자 제거율이 비슷한 경쟁기업의 필터 제품에 비해 유량이 150%에서 최대 400%까지 높아졌다. 따라서 기존 시스템의 유량을 유지하면서 입자 제거율을 혁신적으로 높이거나 동일한 입자 제거율을 제공하면서 유량을 혁신적으로 높일 수 있다. 고어코리아 산업제품사업부의 한상윤 부장은 “차세대 ePTFE 멤브레인이 적용된 HDPE 카트리지 필터는 생산성을 높이고 필터 수량을 최소화할 수 있어 기업의 코스트 절감에 기여할 것”이라고 기대했다. <황지혜 기자> <화학저널 2012/02/06> |
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