화학뉴스 2015.12.09
Tokyo Ohka Kogyo(TOK)가 차세대 반도체 프로세스용 레지스트 개발을 가속화한다.TOK는 반도체기업들 사이에서 선폭 10나노미터 이하의 미세화 작업으로 레지스트도 보다 정밀한 사양이 요구됨에 따라 50억엔 이상을 들여 최첨단 반도체 노광기를 도입함으로써 평가기능을 높일 계획이다. 최근 인천에 신규 건설한 첨단 레지스트 공장에도 반도체 노광기를 도입하고 있으며 한국‧일본 두 거점에서 연구개발 기능을 확충할 방침이다. ArF(불화아르곤) 레지스트 시장점유율 30%를 목표로 하며 세정제 등의 약제도 고순도화를 추진한다. TOK는 10년 전 전자소재 Sagami 공장 1등급 클린룸에 ArF 액침 노광기를 도입해 회로 선폭 32나노미터 세대의 레지스트 개발에 주력함으로써 ArF 레지스트 점유율을 확대해 왔다. 그러나 선폭 10나노미터대의 반도체가 양산체제에 돌입해 개구도 1.27로는 최첨단 레지스트를 평가하는 것이 어려워짐에 따라 반도체 메이저가 10나노미터 이하의 반도체를 개발하는 것에 맞추어 2017년 3/4분기에 개구도 1.35의 ArF 액침 노광기를 도입하기로 결정했다. 이에 따라 2015년 설비투자계획을 26억엔 상향조정해 20억엔 이상을 노광기에 투입하고 4/4분기에도 30억엔 이상을 계상해 결함 0%의 레지스트를 목표로 검사장치 및 도포 현상장치를 구비할 계획이다. TOK는 한국법인 TOK첨단소재에도 개구도 1.30의 액침 노광기를 도입해 반도제 생산기업들과 동일한 프로세스로 웨이퍼를 처리함으로써 대형 수요처의 니즈에 정확하고 신속하게 대응하고 있다. 한국‧일본 두 거점을 통해 ArF 레지스트 시장점유율 30%를 목표로 하고 있으며, 2015년 9월 중간결산에서 매출이 448억엔으로 전년대비 6.5% 증가했고, 영업이익이 72억7000억엔으로 8.4% 늘었다. 그러나 하반기에는 컴퓨터 및 FPD(Flat Panel Display) 판매가 부진해 2015년 영업실적 예상치를 하향조정해 매출이 928억엔으로 5.4% 증가하고 영업이익은 133억엔으로 0.4%, 순이익은 86억엔으로 2.5% 감소할 것으로 예상했다. 반도체 생산기업들은 제조장치 및 FPD 소재의 사업환경이 힘든 상황인 만큼 첨단 반도체 소재에 거는 기대가 큰 것으로 알려졌다. <L> <화학저널 2015/12/09> |
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