화학뉴스

티씨케이(대표 쯔지 마사후미 및 박영순)가 솔리드 SiC(탄화규소) 공급 확대에 나선다.
티씨케이는 일본 Tokai Carbon이 1996년 반도체 장비기업 케이씨텍, 카본 가공기업 승림카본금속과 합작해 설립한 한국법인으로 Tokai Carbon의 고순도 흑연, SiC 웨이퍼, 유리모양 카본, 실리콘(Silicone) 전극, SiC 코팅제품 등을 수입해 국내외에 공급하는 사업을 영위하고 있다.
최근 반도체 호황을 타고 호조를 지속하고 있으며 2017년에는 매출이 3년 연속 사상 최대치를 기록할 것으로 예상되고 있다.
특히, 성장을 견인하고 있는 것은 CVD로에 사용하는 고순도 SiC를 코팅해 카본부분을 제거한 솔리드 SiC로 반도체 생산공정의 진공 챔버 안에 웨이퍼를 고정하는 정전자크장치에 부착하는 포커스링 용도를 중심으로 수요가 신장하고 있다.
플라즈마 처리 시 편중 현상을 막을 수 있으며 원래 단결정 실리콘이 주류를 이루었으나 최근에는 플라즈마가 소모되지 않는다는 강점을 살려 솔리드 SiC의 수요가 크게 신장하고 있다.
링의 수명이 길어지면 챔버를 여는 기간이 길어지고 다른 부품의 세정 및 교환 빈도도 줄일 수 있어 메리트가 큰 것으로 파악된다.
2013년 6월 처음으로 양산화한 후 사업을 계속 확대하고 있으며 2016년에는 전체 매출 895억원에서 차지하는 비중이 70% 이상으로 집계됐다.
또 호조를 지속하고 있는 가운데 시장점유율이 30% 미만 수준이어서 아직도 성장할 여지가 큰 편으로 평가됨에 따라 앞으로도 사업 확대를 위해 공급체제 확충에 주력할 예정이다.
2016년 말 솔리드 SiC를 제조하기 위해 새로운 CVD로 1기를 가동시켰으나 이미 풀가동 상태이기 때문에 추가로 1기를 새롭게 발주했으며 2018년 봄 가동을 목표로 하고 있다.
차기 증설도 검토하고 있다.
다만, 한가지 용도에만 과도하게 집중하고 있는 것은 우려 요소로 파악된다.
이에 따라 앞으로 용도를 더욱 광범위하게 확대하기 위해 신규재질 연구개발, 인수합병(M&A)을 포함해 다음 성장동력으로 활용할 수 있는 신소재 사업도 모색하고 있다. <강윤화 기자>