화학뉴스

SK머티리얼즈(대표 장용호)가 NF3(삼불화질소) 증설 투자액을 1526억원으로 확대한다.
SK머티리얼즈는 당초 2018년 11월30일까지 1298억원을 투자해 NF3 생산설비 증설을 진행할 계획이었으나 최근 계획을 변경해 투자액을 1526억원으로 228억원 늘리고 투자기간 역시 2019년 12월31일로 연장하기로 결정했다.
이에 따라 NF3 생산능력은 2500톤에서 3000톤으로 확대될 예정이다.
SK머티리얼즈 관계자는 “특수가스 수요 신장 대응 및 판매 확대를 통한 시장지배력 강화를 위한 것”이라며 “경영환경 변화에 따라 투자금액 및 기간이 변경될 수 있다”고 밝혔다.
SK머티리얼즈는 주력제품인 NF3 분야에서 세계 시장점유율이 50%에 육박하는 등 최대 특수가스 공급기업으로 자리매김하고 있으며 NF3 외에 육불화텅스텐(WF6), 모노실레인(SiH4), 디실레인(H6Si2) 등의 반도체용 특수가스를 제조‧공급하고 있다.
또 일본 Tri Chemical과 합작법인인 SK트리켐을 설립해 세종에서 전구체(Precursor)도 생산하고 있으며, 쇼와덴코(Showa Denko)와는 자회사인 SK쇼와덴코를 합작해 식각가스 제조‧공급에 주력하고 있다.
식각가스는 실리콘 웨이퍼 상 필요한 부분만 남겨두고 나머지 물질을 제거하는 반도체 제조공정인 식각과정에 사용되는 특수가스로 반도체 미세화 공정 및 3D낸드 확산에 따라 수요가 증가하고 있다. <강윤화 기자>