마루젠석유화학(Maruzen Petrochemical)이 포토레지스트 소재 연구개발(R&D) 총력전을 펼치고 있다.
마루젠은 기초화학제품, 화성제품 등을 취급하는 석유화학기업이면서 동시에 ArF(불화아르곤), KrF(불화크립톤) 포토레지스트용 폴리머를 공급하는 기능성 화학기업으로도 메이저 지위를 확보하고 있다.
2023년 3월까지 실시한 5개년 중기 경영계획을 통해 고부가가치 기능 화학제품 및 화성제품 생산을 확대해왔으며 앞으로는 포토레지스트 소재 연구개발에 경영자원을 집중 투입해 주요 수익원으로 육성할 계획이다.
그동안 연구개발 기능을 이치하라(IchiharA) 연구소에 집약시켜 포토레지스트 포함 다양한 주제를 취급했으나 2022년 12월 정비를 완료한 신규 연구동으로 용제, 화성제품 등 포토레지스트 외 다른 연구개발 프로젝트를 이전하고 포토레지스트 연구개발을 독립시킬 예정이다.
포토레지스트는 매우 엄격한 품질 관리가 요구되기 때문에 기존 연구소를 포토레지스트 전용시설로 사용하기 위해 다른 소재 연구개발 기능을 옮긴 것으로 알려졌다.
마루젠은 이전부터 포토레지스트 소재 연구를 강화해왔다.
수년 전부터 연구인력 확충을 실시해 현재는 전체 연구원의 절반 이상이 포토레지스트 소재 개발 및 품질 관리를 맡고 있으며 앞으로도 인력 보충을 통해 개발속도 향상에 나설 계획이다.
2023년에는 연구개발 조직 개편도 실시한다.
포토레지스트에 특화된 연구소는 4월1일 기능성 수지 기술 개발센터로 이름을 바꾸고 포토레지스트 외의 연구개발을 맡고 있는 연구소는 연구개발 센터로 바꾸기로 했다.
포토레지스트 소재 연구개발을 전문으로 맡을 기능성 수지 기술 개발센터는 확보한 여유공간을 활용해 클린룸을 증설하고 있으며 금속 분석능력 강화도 추진할 것으로 예상된다.
2022년 7월 시험가동을 시작한 EUV(극자외선) 레지스트용 폴리머 양산설비를 통해 최첨단 레지스트 대응이 가능할 것으로 기대되며 샘플 평가 및 검사를 위한 항온항습실 등도 추가로 도입할 계획이다.
일반 연구개발 센터에서는 비닐에테르화합물의 신규 용도 개척, 미이용 유분 고부가가치화 등의 다양한 프로젝트를 진행한다. (K)