화학뉴스

일본 TOK(Tokyo Ohka Kogyo)가 타이완 반도체 시장에서 신규 영역을 개척하고 있다.
TOK첨단재료의 모기업 TOK가 타이완 자회사 TOK Taiwan과 공동개발한 표면처리제로 2025년부터 시작되는 타이완 2나노 양산 시장을 공략하고 있다.
TOK는 1998년 타이완기업과 합작해 TOK Taiwan을 설립했다. TOK Taiwan은 주력제품인 포토레지스트 사업에서 수요기업 지원 및 품질보증과 표면처리제, 포토레지스트용 현상액 등 고순도 화햑약품 생산·판매 역할을 맡고 있으며 신주시(Hsinchu)에 본사를 두고 2014년 퉁뤄(Tongluo) 공장을 건설해 증설 투자 및 개발기능 확충을 계속하고 있다.
TOK Taiwan은 개발·생산·영업의 삼위일체 경영이 강점으로 수요기업 밀착전략을 추구한다. 
일본에서 생산하는 포토레지스트는 2나노 프로세스 선정을 마쳤으며 하반기부터 1.4나노 프로세스를 비롯한 차세대 영역에 경영자원을 투입할 계획이다.
TOK는 반도체 시장 회복을 타고 고순도 화학약품 수요가 증가함에 따라 2024년 매출 증가를 기대하고 있다.
특히, 신규 채용이 기대되는 표면처리제는 트랜지스터 표면 보호 기능이 호평받고 있다. 
트랜지스터는 반도체 전공정 가운데 FEOL(Front End of Line) 공정에서 형성되며 FEOL은 반도체 성능과 코스트에 직결되는 중요한 공정으로 평가된다.
타이완 반도체 산업계는 2나노 이후의 로직 반도체에 기존 핀펫(Fin Field Effect Transistor) 방식 대신 GAA(Gate All Around) 구조를 채용했다. GAA는 4개 게이트가 채널을 모두 둘러싸는 구조로 핀펫 대비 고성능·소형화가 가능하나 구조가 초슬림·복작화되면서 잔사물 제거와 표면보호 문제가 중요해졌다. 
다수의 타이완 반도체 공장이 2나노 프로세스 생산을 계획하는 가운데 TOK는 기존 설비로 초기 수주분에 대응하면서 2026년 이후 양산용 전용라인 건설을 검토할 예정이다.
TOK는 타이완에서 생성형 AI(인공지능) 및 AI 서버 프로세스용 표면처리제 판매가 증가할 것으로 예상하고 있으며 고부가제품 전용라인 도입을 검토하는 동시에 최신 세정시험설비를 도입해 수요기업의 검증에 속도를 내는 등 타이완의 첨단기술 발전에 대응할 계획이다.
세정시험설비는 퉁뤄공장 클린룸에 설치할 계획이며 수요기업 라인과 동등한 환경을 갖추어 공급검증을 강화할 방침이다. 엔지니어 증ㅇ원 및 장비 생산기업과의 협업 등도 적극 추진할 예정인 것으로 알려졌다 (윤)