2026년 03월 20일 (금)
[반도체 슈퍼사이클] 차세대 레지스트 경쟁 심화

마루젠석유화학, 개발체제 강화 … 2026년부터 EUV용 시험제품 생산

윤우성 선임기자
화학뉴스 2026.03.19

반도체 제조공정용 포토레지스트 폴리머 기술 경쟁이 치열해지고 있다.
일본 마루젠석유화학(Maruzen Petrochemical)은 포토레지스트 관련 연구개발(R&D) 체제를 강화하고 있다. 2028년까지 연구・분석 관련 인력을 대폭 늘리는 방안을 검토하고 있으며 신규 연구시설 도입도 검토하고 있다. 2026년에는 EUV(극자외선) 리소그래피용 시험제품 생산도 시작할 예정이다.


마루젠석유화학은 글로벌 포토레지스트용 폴리머 주요


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[게시일 2011년 2월1일]

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