도카이카본, 미국 3개 자회사 통합 … 운영 효율화와 판매체제 강화 
 

특수흑연(파인카본)은 주로 반도체, 태양전지 제조 과정에서 사용하며 내열성, 내부식성, 전도성, 가공 용이성과 같은 다양한 특징을 갖추고 있다.
다만, 공급기업이 제한적이다. 국내에서는 일본 도카이카본(Tokai Carbon)의 자회사 TCK가 안성공장에서 고순도제품을 생산하고 있다. TCK는 국내 반도체 및 디스플레이 전공정 소재와 장비 생산기업인 케이씨텍도 지분 8.18%를 보유하고 있다.
도카이카본은 일본 다노우라(Tanoura) 공장에서 생산한 소재를 TCK 안성공장를 비롯한 글로벌 생산기지에서 가공하고 불순물 제거, 특수코팅 등 후공정을 진행하는 형태로 특수흑연을 공급하고 있다. 2024년에는 등방성 흑연 소재 증설을 완료함으로써 생산능력을 1만1000톤으로 약 40% 확대했다.

도카이카본은 미국 특수흑연 사업을 확대하기 위해 2026년 1월1일 현지 자회사 3곳을 통합했다. Tokai Carbon USA(TCU)가 2024년 인수한 KBR과 MWI를 흡수하고 회사명을 Tokai Carbon Graphite Solutions(TCGS)로 변경해 미국 지주회사 Tokai Carbon US Holidings 밑으로 재편하는 형태이다.
흑연 소재 분야에서 중요한 시장인 미국 사업의 운영을 효율화하고 광대한 현지 특성에 맞춘 판매체제를 강화하기 위한 조치로 해석된다.
도카이카본은 미국에서 반도체 제조장비용 특수흑연 소재를 주력 공급하며 최근 미국이 공급망 내재화를 추진하는 에너지 분야와 스타트업이 잇달아 진출하고 있는 항공・우주 분야에 관심을 보이고 있다. 특히, 태양전지 단결정 웨이퍼 제조장비용 소재나 항공・우주부품 생산용 열처리 소재 수요를 기대하고 있다.
미국 특수흑연 공장은 흑연화 소재 가공 및 고순도화 처리를 담당하는 MWI, 고순도화 및 특수코팅 처리를 맡는 TCU를 포함해 5곳이며 MWI는 가공・고순도화 처리능력을 단계적으로 확대하고 있다.
도카이카본은 미국 정부의 관세정책 영향으로 현지에서 직접 소재를 조달하려는 수요가 증가함에 따라 지리적 이점을 살려 흑연화 소재 공급을 확대할 계획이다.
특수흑연 사업의 주력제품인 솔리드 실리콘 카바이드(SiC)는 고순도 흑연 소재 위에 화학적 기상증착법(CVD)으로 SiC 후막을 형성한 다음 베이스 소재를 제거하고 용도에 맞추어 가공한다. SiC이기 때문에 초고순도이면서 강도와 내식성이 우수한 부품을 만들 수 있다.

솔리드 SiC 대표제품은 포커스 링으로 실리콘(Si) 웨이퍼에 미세 회로를 형성하는 에칭 장비에서 플라즈마 상태인 에칭가스를 웨이퍼에 집중시켜 장비를 보호하는 역할을 수행한다. 
포커스 링은 주로 데이터 장기저장 용도인 3D 낸드(NAND) 플래시 메모리를 생산하는 과정에서 사용한다. 적층단수가 커지면서 수직으로 깊고 정밀한 구멍(홀)을 형성하기 위해 에칭 횟수가 증가하고 플라즈마의 출력이 높아지는 가운데 내구성이 우수한 솔리드 SiC 수요가 증가하고 있다.
도카이카본은 앞으로 솔리드 SiC의 초고순도, 높은 내열성과 내구성을 활용해 용도를 확대하고 수익원을 다양화할 계획이다.
전력반도체(파워반도체)용 단결정 SiC 웨이퍼 CVD 장치 내부에서 웨이퍼의 가장자리에서 장비 부분에 에피택시 막이 증착되는 것을 방지하는 커버링 용도를 주목하고 있다.