JSR, UV-Photoresist 2만리터 플랜트 건설
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JSR은 25억엔(2100만달러)를 투자, 벨기에의 Leuven에 deep-UV Phostoresist 및 Developer 2만리터 플랜트를 건설할 계획이다. 2003년 초 가동 예정이며, Leuven 부지는 추후에 반도체 원재료 공장을 건설하기에 충분할 정도로 확보했다. JSR은 Leuven에서 Interlayer Dielectric 소재, Chemical-Mechanical Planarization 소재 등 반도체 원재료를 생산할 방침이다. 대신 Leuven 소재 구세대 g-line 및 i-line은 2003년 중반 폐쇄할 예정이다. JSR은 미국 캘리포니아주 Sunnyvale, 일본 Yokkaichi 및 Kyushu에서도 Photoresist를 생산하고 있다. [CW 2001/09/19] <화학저널 2001/10/29> |
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