반도체 나노와이어 주목받는다!
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특허청, 실리콘은 비용 증가해 퇴조 … 반도체 조립시대 개막 반도체 소자가 고집적화되고 미세화됨에 따라 현재의 깎고 쌓는 실리콘 기술은 제조비용이 증가해 앞으로 10여년 후에는 한계에 도달할 것으로 예견된다.실리콘 기술의 대안으로서 반도체 나노와이어와 같은 빌딩블럭을 전자의 흐름을 제어하는 채널로 조립해 반도체 소자를 형성하는 방법이 주목을 받고 있다. 특허청에 따르면, 나노물질은 길이, 폭, 두께 중 적어도 하나 이상의 치수가 100nm 이하인 물질로 대표적인 나노물질로는 양자점, 탄소나노튜브, 나노와이어, 나노박막 및 나노 크기의 빌딩블럭으로 이루어진 나노구조물 등으로 분류할 수 있다. 나노와이어 중 전기적으로 반도체 특성을 갖는 나노와이어를 반도체 나노와이어라고 부르는데, 반도체 나노와이어는 종류가 다양하고 순수한 단결정 형태로 합성할 수 있다. 또한 결정의 성장과정에서 조성, 직경, 길이 등과 같은 거의 모든 주요 특성들을 원하는 대로 조절할 수 있다는 장점이 있어 가장 확실한 나노규모의 빌딩블럭으로 각광을 받고 있다. 반도체 나노와이어를 이용한 트랜지스터의 제조방법은 실리콘 기판상에 금속입자를 배열해 나노와이어를 수직 성장하고, 게이트 유전막과 도전막을 증착해 게이트 전극을 형성하며, 드레인을 증착해 완성하게 된다.
특히, 미국 12%, 유럽 8%에 비해 한국은 70%를 차지해 국내 기술전망을 밝게 해주고 있다. 표, 그래프: | 반도체 나노와이어 기술 관련특허 출원동향 | <화학저널 2007/01/26> |
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