반도체ㆍ액정용 특수가스 생산 확대
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Kanto Denka Kogyo, NF3 생산 60% 증설 … WF6ㆍSF6도 증설 잇달아 Kanto Denka Kogyo가 반도체ㆍ액정 제조용 특수가스인 NF3(삼불화질소) 생산을 60% 이상 확대할 방침이다.Kanto Denka Kogyo는 2008년 2월 삼불화질소 생산능력을 2150톤으로 확대한 후 11월 2700톤으로 추가 확대할 계획인데 2007년 9월 이미 1650톤으로 증설했다. HF(불화수소) 전해설비의 생산능력도 함께 강화할 계획이다. 이밖에 WF6(육불화텅스텐), SF6(육불화황) 등의 특수가스의 증설도 검토함으로써 생산ㆍ공급체제를 정비해 수요증가에 신속히 대응하려는 것으로 판단된다. Kanto Denka Kogyo는 다양한 불소계 유도제품 생산에 대한 노하우를 살려 종합적인 사업전개를 추진하고 있다. 특히, Shibukawa 플랜트에서 반도체ㆍ액정패널 제조에 사용되는 클리닝 가스 및 에칭(Etching) 가스용을 중심으로 수요를 확대하고 있는 불소 특수가스 생산을 강화해 왔다. Kanto Denka Kogyo는 삼불화질소 세계시장 점유율 2위를 차지하고 있는 특수가스 대형 메이저로 2007년 9월 40% 확대한 1650톤, 2008년 6월 2150톤으로 추가 확대할 계획이었으나 수요급증에 신속히 대응하기 위해 4개월 앞당긴 2월 증설작업에 들어갈 예정이다. 삼불화질소는 2008년 11월까지 2700톤으로 차기증설 계획이 있어 2007년 6월 증설을 마친 불화수소 전해설비를 삼불화질소 증설에 따라 강화할 계획이다. Kanto Denka Kogyo는 반도체용 배선소재인 육불화텅스텐을 2008년 3월 300톤으로 확대하고 육불화황 및 C4F6(Hexafluoro-1,3-Butadiene) 생산능력을 2007년 가을 연이어 강화했다. 신규 특수가스인 COF2 (Carbonyl Fluoride)도 2008년 3월 100톤으로 증설할 계획이다. Kanto Denka Kogyo는 삼불화질소를 중심으로 잇달아 특수가스 생산을 강화함으로써 코스트다운 효과를 향상시켜 수익성을 강화할 방침이다. <화학저널 2007/12/24> |
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