화학뉴스

OCI머티리얼즈(대표 조백인)는 반도체 공정에 사용되는 다이실란(Disilane) 생산기술이 지식경제부 기술표준원으로부터 신기술 인증을 받았다고 12월18일 발표했다.
OCI머티리얼즈가 독자 개발한 해당기술은 열분해 반응을 이용해 반도체 공정에서 증착용(증기를 물체 표면에 얇은 막으로 입히는 것) 가스로 사용되는 고순도 다이실란을 생산하는 방식이다.
우리나라는 현재 다이실란을 전량 수입하고 있는데 세계적인 공급부족으로 수입단가가 높아 반도체 생산에 부담이 되고 있는 것으로 알려졌다.
OCI머티리얼즈 관계자는 “신기술 확보로 공급부족 해결은 물론 상당한 수입대체 효과가 기대되며 국내 반도체산업 발전에도 기여할 것”이라고 강조했다.
OCI머티리얼즈는 11월 경북 영주에 다이실란 10만톤 공장을 완공하고 본격 가동에 들어갔으며, 2013년 초에는 신규 제조기술에 대해 국내외에 특허출원도 추진할 계획이다.