화학뉴스

ATMI(대표 장성규)가 4월10일 화성 장안공장 준공식을 개최했다.
준공식에는 남충희 경기도 경제부지사, 더그 뉴골드 ATMI 총회장, 장성규 ATMI코리아 대표, ATIMI 임직원 등 약 150여 명이 참석했다.
ATMI는 임플란트(Implant: 이온주입) 가스, 증착물질, CMP(Chemical Mechanical Planarization) 세정제 등 반도체․디스플레이용 소재를 주로 생산하고 있으며 주요 수요기업은 삼성전자, SK하이닉스로 알려지고 있다.
2013년 매출은 3억6100만달러로 한국이 25%를 차지했으며 매출비중은 임플란트 32%, Wet Chemical 47%, 포토레지스트(Photoresist) Bottle 13%, 기타 8%로 나타나고 있다.
ATMI는 2014년부터 국내 반도체 소재 시장을 공략하기 위해 국내 연구․개발 비중을 늘릴 계획이다.
임플란트 가스는 2013년 12월부터 타이완으로 수출이 시작됐으며 삼성전자, SK하이닉스 공급은 6개월 랩테스트 후 2014년 말부터 공급될 예정이다.
ATMI는 장안공장 가동으로 수입 대체효과로 1000억원, 수출 1000억원을 기대하고 있다.
임플란트는 식각 공정 후 실리콘웨이퍼(Silicone Wafer)에 불순물 형성으로 실리콘웨이퍼에 전자적인 특성을 부여하기 위해 미세한 이온가스 입자를 주입하는 공정으로 임플란트 가스에서 N+ Dopant는 P, As, Sb를, P+ Dopant은 B, In을 채용하고 있으며 원료는 AsH4, GeF3, BF3, PH4, SiF4 등 특수가스를 국내에서 공급 받을 예정이다.
ATMI는 2015년부터 포토레지스트 등 Wet Chemical을 운반하는 Glass Bottle을 대체해 플래스틱 용기를 생산할 방침이다. 외부는 PET(Polyethylene Terephthalate), 내부는 PEN(Polyethylene Naphthalate)를 채용하고 있다.
특히, 내부는 ATMI이 이중구조 생산 관련 특허를 보유해 생산하고 있어 국내 생산기업들은 생산이 어려운 것으로 알려지고 있다.
CMP 공정에 채용되는 세정제도 국내에서 공급하기 위해 공장 건설을 추진하고 있으며 2015년 초부터 상업생산이 가능한 것으로 알려지고 있다. <허웅 기자>