화학저널

일본 화학기업 JNC가 반도체 소재 시장 공략을 강화하고 있다.
JNC는 2017년 4/4분기부터 반도체 프로세스 소재 및 포토레지스트 소재를 양산할 계획이며 내열성과 투명성이 뛰어난 독자구조의 실리콘(Silicone) 폴리머를 자동차 램프에 사용하는 LED(Light Emitting Diode) 봉지재 등에 투입하기 위해 평가를 진행하고 있다.
JNC는 화학제품 사업에서 주로 석유화학제품과 실리콘·실리콘제품을 공급하고 있다.
석유화학제품은 가소제, 페인트 용제 등, 실리콘제품은 전자기판 및 건축자재용 유리섬유 표면처리제, 자동차 시트용 인공피혁의 감촉 및 발수성을 향상시키는 수지개질제 등에 주력하고 있다.
최근에는 반도체 소재를 중점분야로 설정해 연구개발에 힘을 기울이고 있는 가운데 전자회로를 새긴 실리콘웨이퍼에 도포해 세척공정 후 건조성을 높이는 표면처리제용 소재로 기존제품에 비해 밀착성 등을 향상시킨 신제품을 개발하는데 성공했다.
반도체 소재 생산기업에 공급할 계획으로 2017년부터 양산에 들어갔다.
반도체는 전자회로 미세화, 공정 다층화에 따라 세척액의 모세혈관 현상이 발생해 회로패턴이 손상되는 문제가 나타나고 있다.
JNC가 개발한 신제품을 배합한 표면처리제는 미세한 요철에 스며들어 기재와 밀착하기 때문에 세척액의 발수성이 향상돼 패턴 손상 문제를 방지할 수 있는 것으로 알려졌다.
2017년 후반에는 반도체 금속층을 덮는 절연막 소재도 샘플 작업을 개시할 예정이다.
실리콘웨이퍼에 전자회로를 새기는 반도체 포토레지스트 소재로는 락톤(Lactone)계 모노머 양산에 착수했다.
락톤계 모노머는 반응공정이 복잡하나 화학제품을 통해 축적한 합성반응 기술을 응용해 효율적인 합성공법을 확립했으며 Minamata 소재 연구거점에 전용설비를 도입했다.
또 JNC는 규소와 산소 분자가 바구니 모양으로 연결된 PSQ(Polysilsesquioxane)라는 독자구조의 규소화합물과 반응성 실리콘을 조합한 실리콘 폴리머를 개발했다.
200℃ 이상의 고내열성, 고투명성, 열 이력에도 황변, 균열이 발생하지 않는 뛰어난 내구성 등이 특징으로 파악되고 있다.
자동차 램프, TV 백라이트, 조명 등에 사용되는 LED는 고출력화 및 소형화의 영향으로 내열성 등에 대한 요구가 높아지고 있다.
JNC가 새롭게 개발한 실리콘 폴리머는 고성능 백색 LED의 봉지재용으로 2016년부터 채용이 본격화됐으며 LED 생산기업 등을 대상으로 성능 측면을 강조하며 판매를 확대할 방침이다.
아울러 JNC는 반도체·액정 제조장치용 클리닝가스인 플루오르화카르보닐(Carbonyl Fluoride)도 공급하고 있다.
플루오르화카르보닐은 주류인 삼불화질소(NF3)에 비해 지구온난화지수가 낮고 물과의 화학반응으로 이산화탄소(CO2)와 불산(불화수소산: Hydrogen Fluoride)으로 분해됨에 따라 회수하기 쉬운 이점이 있다.
이미 일부기업에 채용되고 있으며 뛰어난 환경성능을 바탕으로 반도체 및 액정, LED 제조장치, 배관 등의 세척용으로 판매를 확대할 방침이다.