화학뉴스

디스플레이용에 이어 반도체용 불산의 탈일본화가 초읽기에 들어갔다.
반도체용 불산은 그동안 국내 솔브레인과 ENF테크놀로지가 각각 일본 스텔라케미파(Stella Chemifa)와 모리타(Morita Chemical)에서 수입해 가공한 후 삼성전자와 SK하이닉스에게 공급했으나 7월 초 일본의 수출규제로 수입이 사실상 차단됨에 따라 대체방안 마련이 요구돼왔다.
솔브레인은 충남 공주 불산 공장의 생산능력을 2만5000톤에서 5만톤으로 확대하기 위해 최근 공사에 착수했으며, ENF테크놀로지는 국내공장 신규건설을 검토하는 한편 발빠르게 중국·타이완산 대체제를 확보했다.
과거에는 중국·타이완산 품질이 떨어져 국내 생산라인에 투입하기 어려울 것이라는 우려가 많았으나 ENF테크놀로지가 수입 다변화를 염두에 두고 2018년해부터 현지기업들에게 기술지도를 실시해 현재는 순도가 90% 이상 올라온 것으로 알려졌다.
해당 수입제품들은 현재 국산화 테스트를 마치고 양산라인에 본격 투입되고 있다.
램테크놀로지도 중국산 불산을 들여와 SK하이닉스에게 공급하고 있다.
불산은 반도체 제조공정에서 표면 세정이나 식각에 사용하며 일부는 첨가제를 혼합해 실리콘(Silicone) 산화막 두께를 줄이는데 투입하고 있다.
일반적으로 액체형은 불산, 기체형은 불화수소로 구분하며 2가지 형태 모두 일본의 수출규제 대상이나 액체형은 수출허가가 1건도 나지 않았다.
반도체 관계자는 “일본 경제산업성이 7월 이후 십수회 이상 지속적으로 서류보완 요구를 하고 있다”면서 “요구하는 내용도 통계기준이나 문구변경 등 소소한 것이 대부분”이라고 강조했다.
이어 “하지만, 시간이 지나면 허가가 나올 수밖에 없다”며 “국내공장 신증설이 완료되고 중국·타이완산의 순도가 향상되면 100% 탈일본이 가능하다”고 덧붙였다.
디스플레이용 불산은 반도체용보다 순도 기준이 낮아 상대적으로 국산화 및 탈일본화 속도가 빨랐다.
반도체용 불산 순도는 99.9999999999로, 디스플레이용보다 불순물관리가 엄격하며 메탈이온 관리를 반도체용은 PPT(1조), 디스플레이용은 PPB(10억) 수준으로 실시하고 있다. (K)