화학뉴스

램테크놀러지(대표 길준봉)가 액체와 기체 형태의 초고순도 불화수소를 동시에 생산하는 기술을 개발해 특허를 취득했다.
기존 불화수소 생산 방식은 형석을 가지고 증류법, 전기 분해법, 흡착법, 막분리법 등 다양한 정제공정을 통해야 하지만 램테크놀러지가 개발한 생산방식은 전처리 과정을 생략할 수 있으며 불화수소 순도도 세계 최고수준인 것으로 파악되고 있다.
일반적으로 초고순도 불화수소는 통상 99.9999%(6N) 이상 순도인 기체를 의미하지만 램테크놀러지의 불화수소 순도는 99.999999999999999%(15N)에 달해 현존하는 초고순도 불화수소 가운데 가장 순도가 높은 것으로 판단되고 있다.
램테크놀러지는 초고순도 불화수소를 생산하기 위해 다각적인 연구를 수행한 결과 전처리 공정이 없는 생산방식을 개발했다.
기체상과 액체상에 공존하는 다단 증류탑 내부의 조불화수소 내 불순물을 산화시켜 제거할 수 있는 가스 스트림을 투입하되 투입 공정 프로세서로 고급 공정 제어 모듈을 적용했다.
이어 원료인 조불화수소의 품질에 따라 즉각적으로 정제공정에 적용함으로써 초고순도 불화수소를 높은 양산 전환율로 연속적으로 제조하고 있다.
램테크놀러지가 생산한 초고순도 불화수소는 수분 농도가 최소화돼 안정도가 매우 우수하며 세계 최고의 기술력으로 일본 기술력을 앞섰다는 평가를 받고 있다.
램테크놀러지 관계자는 “2021년 통과되기를 기다리는 국가전략산업 특별법을 통해 당진 제1공장 건설과 내부 검토 중인 용인 반도체클러스터 제2공장 증설이 탄력을 받을 것으로 기대한다”면서 “SK하이닉스도 초고순도 불화수소를 100% 국내에서 충당할 수 있을 것”이라고 강조했다. (K)