화학저널

일본 5사 점유율 90% 수준 … JSR, ArF‧EUV 레지스트 증설

일본 화학기업들이 반도체 소재 시장에서 두각을 나타내고 있다.
반도체 미세화 등 기술혁신을 지탱하고 있는 포토레지스트는 JSR을 포함해 TOK, 신에츠케미칼(Shin-Etsu Chemical), 스미토모케미칼(Sumitomo Chemical), 후지필름(Fujifilm) 등 일본 5사가 세계시장의 90%를 장악하고 있다.
일본 5사는 앞으로 성장이 기대되는 시장에서 영향력을 확대하기 위해 신증설 및 평가체제 확충 관련 투자를 적극화할 것으로 예상된다.
JSR은 반도체 회로 형성용 포토레지스트 생산을 확대한다.
JSR은 미에현(Mie)의 요카이치(Yokkaichi)에서 2022년 중반 완공을 목표로 포토레지스트 신규 공장동을 건설하기로 결정했다.
최근 반도체 시장이 호황을 이어가고 있는 가운데 수요기업에 대한 안정적인 공급체제 확충이 필요하다는 판단 아래 증설에 나선 것으로, ArF(불화아르곤) 레지스트와 최첨단 반도체 제조에 사용하는 EUV(극자외선) 레지스트 생산을 확대한다.
투자액과 증설폭은 공개하지 않았으나 2021년 8월부터 공사를 시작한 것으로 알려졌다.
ArF 레지스트는 반도체 시장 성장을 타고 양적인 확대가 기대되고 있으며, EUV 레지스트는 반도체 회로 미세화와 함께 시장이 본격적으로 형성되고 있어 지속적인 수요 증가가 예상되고 있다.
JSR은 글로벌 반도체 포토레지스트 시장에서 높은 수준의 점유율을 확보하고 있으며, 특히 ArF 레지스트 분야의 강자로 군림하고 있다. EUV 레지스트도 선두기업 가운데 하나이며 2가지 레지스트 생산을 선제적으로 확대함으로써 글로벌 영향력을 더욱 확대하는 것을 목표로 하고 있다.
JSR은 일본, 벨기에, 미국에서 반도체 포토레지스트 공장을 가동하고 있다.
증설 투자를 일본에서 추진하는 것은 일본공장이 반도체 수요 증가에 즉각 대응할 수 있도록 수직계열화돼 있고 연구개발(R&D) 인력과 기술진이 집중돼 있어 고품질 요구에 신속한 대응이 가능하기 때문이다.
포토레지스트 외에 첨단 반도체 제조공정에서 사용하는 다층소재도 증설을 검토하고 있다.
다층소재는 포토레지스트의 하층부에 사용하며 반도체에 회로 패턴을 형성할 때 평탄성을 부여하거나 높은 아스펙트비의 회로 실현에 기여하고 있다.
최근 반도체 회로 패턴이 복잡‧미세해지면서 포토레지스트와 다층소재를 조합하는 방법에 대해서도 다양한 니즈가 등장하고 있으며, 반도체 품질과 수율 향상을 위해서는 포토레지스트와 다층소재를 미세하게 조정해 맞추어가는 기술이 중요해지고 있다.  
JSR은 포토레지스트와 다층소재를 모두 생산해 수요기업에게 패키지로 제안할 수 있다는 강점을 최대한 활용하고 있다.
JSR은 반도체 소재 등 디지털 솔루션과 재생의료 등 생명과학 사업을 새로운 성장동력으로 육성할 계획이라고 2021년 3월 공개한 경영방침에서 밝힌 바 있다.
2개 사업에 대한 투자재원 마련을 위해 2021년 5월 일본 최대 정유기업인 에네오스(Eneos)에게 합성고무를 포함한 엘라스토머(Elastomer) 사업 매각을 결정했다.
디지털 솔루션 사업 성장의 견인차 역할을 할 반도체 소재는 실리콘 웨이퍼 투입량을 기준으로 한 시장 성장률인 8%보다 2배 높은 수준으로 성장할 수 있도록 요카이치 공장의 반도체 레지스트 증설을 계기로 투자를 적극화할 예정이다. (강윤화 선임기자)