화학뉴스

반도체 제조장치의 핵심인 노광기도 수요가 계속 신장하고 있다.
차세대 반도체용 EUV 뿐만 아니라 성숙단계에 진입한 KrF(불화크립톤), 파장 365나노미터인 i선을 포함한 모든 광원에서 판매량이 크게 증가하고 있다.
스마트폰부터 자동차, 가전제품에 이르기까지 광범위한 분야에서 반도체 수요가 확대되고 있기 때문으로 앞으로도 수요 신장이 계속될 것으로 예상되고 있다.
이에 따라 글로벌 최대의 노광기 메이저 ASML은 2021년 3/4분기 NXE:3600D를 비롯한 EUV 기기 매출이 사상 최고치를 기록했으며 수주액은 29억유로에 달했다.
2006년 출시한 ArF 액침 노광기는 출하대수가 100대를 넘어서는 등 수요가 계속 확대돼 3/4분기 매출이 52만4100만유로로 30% 증가했으며 4/4분기에도 비슷한 수준을 유지함에 따라 2021년 전체 매출은 전년대비 35% 증가할 것으로 예상하고 있다.
ASML은 2021년 말까지 광학 시스템을 공급하는 독일 Berliner Glas의 메디컬 어플리케이션 사업 등을 광학기기 메이저 예놉틱(Jenoptik)에 매각할 예정이다.
Berliner Glas는 EUV 노광기 개량을 위해 2020년 인수했으나 최근 반도체와 관련되지 않은 사업은 매각하기로 결정했다.
캐논도 3/4분기에 메모리용과 로직용 모두 예상을 뛰어넘는 판매대수를 기록함에 따라 생산 확대를 검토하고 있는 것으로 알려졌다.
노광기는 판매대수가 2020년 122대에서 2021년 142대로 늘어 매출이 2165억엔으로 52% 급증한 것으로 추정되고 있다.
구체적으로는 i선이 97대에서 104대, KrF가 25대에서 38대로 증가했다.
니콘(Nikon)의 정밀기기 사업은 상반기(4-9월) 매출이 1192억엔으로 1.9% 늘었으며 영업이익은 74억엔 적자에서 217억엔 흑자로 전환됐다.
하반기(10-3월)에는 성장이 둔화되나 2021년 회계연도(2021년 4월-2022년 3월) 전체 매출은 2170억엔으로 17.5% 증가하고 영업이익은 6억엔 적자에서 230억엔 흑자로 전환될 것으로 예상하고 있다.
상반기에는 반도체 노광기 판매대수가 1대에 불과했으나 액정패널 조광장치가 호조를 나타냈다.
액정패널 조광장치 판매대수는 30대로 전년대비 6배로 폭증한 가운데 고부가가치제품인 10.5세대가 13대를 차지했다.
2021년 전체 판매대수는 46대에 달할 것으로 예상하고 있다.
니콘은 2024년 도쿄(Tokyo)의 시나가와(Shinagawa)에 R&D 부문을 집약한 본사 빌딩을 준공하고 지속가능성 전략을 추진할 방침이다. (J)