화학뉴스

반도체용 기능성 케미칼 투자는 미국을 중심으로 진행되고 있다.
스미토모케미칼(SCC: Sumitomo Chemical)은 포토리소그래피 주변 소재인 기능성 케미칼과 실리콘(Silicone) 웨이퍼 박막화 공정에 사용되는 후공정용 글루 클리너 생산을 확대할 계획이다.
양 소재 모두 현재 한국공장에서 생산하고 있으나 기능성 케미칼은 미국 등에 2번째 생산기지를 건설하는 방안을 검토하고 있고 글루 클리너 역시 해외판로 개척에 나섬으로써 글로벌 공세를 강화하기로 했다.
스미토모케미칼은 반도체용으로 EUV(극자외선)를 포함한 다양한 포토레지스트와 황산, 과산화수소수, 암모니아수 등 고순도 케미칼 등을 생산하고 있다.
포토레지스트는 일본과 한국, 고순도 케미칼은 일본, 한국, 중국에서 생산하고 있으며 2024년부터 미국공장도 가동할 예정이다.
최근 첨단 반도체 관련 니즈가 확대됨에 따라 포토리소그래피 주변 소재인 기능성 케미칼 사업에서 수요기업의 프로세스에 맞추어 커스터마이즈한 에천트, 박리제 공급을 적극화하고 있다.
전공정이 미세화되고 패턴 형태가 복잡해지고 있으나 기능성 케미칼을 사용하면 깨끗한 패턴을 형성할 수 있을 것으로 기대된다.
스미토모케미칼은 최근 기능성 케미칼 생산기지 확충을 검토하고 있다.
기능성 케미칼은 벌크 공급이 기본인 고순도 케미칼과 달리 소량 오더메이드 공급이 중심이기 때문에 고순도 케미칼보다 설비투자액이 적고 소비지 인근에서 바로 생산해 소화시키기 용이하다는 강점이 있고 커스터마이즈제품이기 때문에 차별화가 편한 것 역시 특징으로 파악된다.
미국은 가장 유력한 후보지로 떠오르고 있다. 고순도 케미칼로 이미 진출한 텍사스 공장을 활용할 수 있기 때문으로 현지 수요 동향에 맞추어 구체화할 계획이다.
아울러 타이완에서는 반도체 소재를 생산하고 있지 않으나 최근 반도체 메이저들이 타이완 투자를 적극화하고 있기 때문에 기능성 케미칼로 진출하는 방안을 검토하고 있다.
글루 클리너는 실리콘 웨이퍼 박막화 공정에 사용되고 있다.
3차원 실장 등 칩을 적층할 때 TSV(실리콘 관통전극)로 접속하기 위해서는 웨이퍼를 얇게 만들어야 하기 때문으로 웨이퍼와 지지체를 접착제(글루)로 임시 고정해 웨이퍼 뒷면을 연삭한 후 흔적이 남지 않도록 박리할 때 투입하고 있다.
글루 클리너는 이물질이 적게 들어가야 하며 스미토모케미칼 생산제품은 경쟁제품과 비교했을 때 최고 사양을 갖춘 것으로 평가된다.
최근 한국에서 양산을 시작해 글로벌 시장에도 판매하고 있으며 앞으로도 판로 확장에 주력할 계획이다.
스미토모케미칼은 후공정용 후막 레지스트도 생산하고 있다. 전공정 분야에서 축적한 노하우를 활용함으로써 후공정 분야에서도 영향력을 확대해나갈 계획이다. (K)