화학저널

[반도체소재]
반도체, 백그라인딩 공정 효율화
화학저널 2024.12.02

 

덴카, 1액형 가접착제 TBM 개발 … 2027-2028년 양산체제 확립

 

일본 덴카(Denka)가 반도체 제조공정용 신소재를 2025년부터 본격 공급한다.
덴카는 최근 웨이퍼 뒷면을 얇게 연마하는 백그라인딩 공정에서 웨이퍼를 가접착하기 위해 사용하는 액상 소재 TBM(Temporary Bonding Material)을 개발했다
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[게시일 2011년 2월1일]

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