중국 완후아케미칼(Wanhua Chemical)이 반도체용 디실란(Si2H6)을 생산한다.
최근 중국에서 화학적 기상증착법(CVD) 공정에서 이용하는 반도체 제조공정용 특수가스인 디실란 투자가 증가하고 있다.
완후아는 디실란을 상업생산하는 2번째 중국기업이다. 현재 10톤 플랜트를 가동하고 있으며 구체적인 시기는 정해지지 않았으나 생산능력을 총 50톤으로 확대하는 계획을 검토하는 것으로 알려졌다.
계열사인 Wanhua Electronic Materials가 2024년 말 옌타이시(Yantai)에 공장을 건설했으며 2025년 3월 이미 상업생산을 시작해 반도체 뿐만 아니라 태양전지(PV), LCD(Liquid Crystal Display) 생산용으로 디실란을 공급하고 있다.
Wanhua Electronic Materials는 일반산업가스와 전자용 고순도 가스 사업을 영위하고 있으며 앞으로 디실란, 삼염화실란(SiHCl3) 등 실란가스와 디플루오르메탄(CH2F2)을 비롯한 불소가스를 라인업에 추가할 계획이다.
디실란은 CVD 방식으로 기판 위에 실리콘(Silicone) 박막을 형성할 때 사용한다. 반도체 제조공정에서 필수적인 고순도가스 가운데 하나이며 일본 미쓰이케미칼(Mitsui Chemicals)과 프랑스 에어리퀴드(Air Liquide), SK머티리얼즈가 글로벌 시장을 주도하고 있다.
반도체 시장의 미국-중국 디커플링이 고착화되는 가운데 중국은 국산화에 박차를 가하고 있다. Wanhua Electronic Materials 뿐만 아니라 산업가스 메이저인 Huate Gas, 불소화학제품 메이저 Do-Fluoride의 계열사 등이 생산라인을 가동하고 있는 것으로 파악된다.
후베이성(Hubei)과 네이멍구(Neimenggu) 자치구 등에서도 투자 프로젝트가 진행되고 있으며, 특히 후베이성에서는 Xunsheng Semiconductor가 이창시(Yichang)에 40톤 공장을 신규 건설할 계획인 것으로 알려졌다. (윤)