Freiberg 플랜트에 4억유로 투입 … 타이완에 생산량의 30% 공급 독일 Wacker-Chemie의 자회사인 Wacker Siltronic은 반도체 시장의 성장둔화에도 불구하고 실리콘웨이퍼(Silicon Wafer) 사업을 확대하고 있다.Wacker Siltronic은 세계적 생산규모인 독일 Freiberg 플랜트에 4억3000만유로를 투자해 300mm의 차세대 실리콘웨이퍼를 생산키로 했는데 프로젝트에는 에피텍셜(Epitaxial) 마무리공정이 포함된다. Wacker는 또한 수백만유로를 들여 일부 생산량을 Wacker의 최초 플랜트인 타이완의 300mm 에피텍셜 마무리라인에 공급할 계획인 것으로 알려졌다. Wacker-Chemie는 사상초유의 300mm 웨이퍼 투자 프로젝트를 통해 급성장하는 대구경 웨이퍼 시장에서 Wacker Siltronic의 입지를 확보할 수 있을 것으로 보고 있다. Wacker Siltronic의 300mm 웨이퍼 생산규모는 일본 Shin-Etsu Handotai 및 Sumitomo Mitsubishi Silicon에 이어 3번째로 크다. Burghausen 플랜트의 월간 웨이퍼 생산량은 4만개로 시장의 20%를 차지하고 있다. Wacker는 일본 Hikari 플랜트에서도 300mm 웨이퍼 1만개를 생산하나 모니터 웨이퍼를 생산하고 있고 공급량이 생산능력보다 적다. Freiberg 플랜트는 2004년 8월 가동을 시작하는데 초기 생산량이 6만개, 월 생산능력이 15만개에 달할 것으로 예상된다. <화학저널 2003/8/25> |
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