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초집적회로 등 반도체 산업이 발달함에 따라 고순도 반도체약품 수요가 증가세를 보이고 있으며, 제품개발도 활발히 진행되고 있다. 반도체 제조에 사용하는 약품은 다른 공업약품과 달리 초고순도 제품을 요구, 약품 메이커에서는 특별한 규격을 설정, 고순도화에 대응하고 있다. <화학저널 1992/1/15> |
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