ASG, NF3 가스플랜트 완공
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Advanced Specialty Gases가 Dayto 소재 Trifluoride(NF3) 플랜트를 9월말 완공, 10월부터 출하를 시작함으로써 미국 제2의 NF3 공급자로 부상했다. ASF의 NF3 생산능력은 정확히 알려지지 않고 있으나, MTC-America를 앞서고 Air Products에 비해 70% 정도인 것으로 알려졌다. ASG는 미국 서부지역 유일의 NF3 생산기업인데, 미국 서부 및 남서부에는 NF3를 필요로 하는 여러개의 반도체공장이 있고, 반도체산업이 발달하고 있는 동남아지역 공급 면에서 유리할 것으로 판단하고 있다. ASG는 생산제품을 세계적인 NF3 리딩기업인 Air Products & Chemical에 공급할 것으로 알려졌다. ASG는 NF3 플랜트 가동이 정상화되면 Purity NF3, C4F8, C2F6 등 전자공업용 고순도 가스를 생산할 계획도 세우고 있다. Air Products는 95년 NF3 생산능력을 100% 확장키로 결정, 미국에 연산능력 약 50만파운드 규모의 새 공장을 건설하는 한편, Tamaqua 공장의 생산능력도 확장할 계획이다. MTC-America는 일본 Mitsui Toatsu Chemicals의 자회사로 미국내 제3의 NF3 공급기업인데, 미국 미시건주 Adrian에 연산능력 11만톤 규모의 NF3 플랜트를 건설할 계획이다. <화학저널 1996/12/9> |
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