파이컴, 반도체칩 검사용 카드 개발
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최첨단 MEMS 기술 상용화 … 비메모리 검사장치 국산화 기반 확보 최근 반도체제품의 고밀도ㆍ다기능화가 급속히 진행되면서 반도체 소자기업이 경쟁적으로 제품의 슬림ㆍ단순화를 지속하고 있는 가운데 기존 방식에 비해 정밀성, 신뢰성 및 생산수율이 월등한 <비메모리 검사용 카드>를 국내 벤처기업 파이컴이 개발해 주목받고 있다.MEMS 방식으로 제조된 검사용 카드(프로브카드)는 측정 대상 반도체 면에 초미세 격자구조의 헤드부분이 접촉하면서 전기적ㆍ물리적 특성 등을 자동 인식하는 장치로, 기존 바늘방식(핀 구조)의 수작업에 따른 생산성 및 성능 한계 등의 문제점들을 극복하기 위해 개발됐다. 특히, 국내는 물론 세계 프로브카드 시장을 독점하고 있는 세계 1위 미국 Form Factor 제품의 성능 및 생산성을 위협하는 수준이고, 국가연구개발사업(시스템IC 2010사업)의 성과물이라는 점에서 높이 평가받고 있다. 비메모리 반도체의 집중 육성을 위한 산ㆍ학ㆍ연 공동 연구개발사업인 시스템IC 2010사업을 총괄하는 김형준 단장은 “프로브카드는 마이크로 프로브헤드(Micro Probe Head), 원형 PCB 등으로 구성되는데 마이크로 프로브 헤드(니켈합금처리) 부분이 멤스 공정을 통해 정교하게 제작된 점에 기술적 특징이 있다”며 “신속ㆍ정밀한 검사성능이 입증돼 향후 국내 반도체 검사장치 분야의 경쟁력 강화에 기여할 성공적 국가 연구개발 사례로 평가된다”고 밝혔다. 국내 특허 출원 및 등록과 학회 발표 등을 통해 우수성이 입증된 프로브카드는 시스템IC 2010 사업의 일환으로 2003년 9월부터 2005년 8월 2년간 정부의 3억6000만원을 포함해 총 8억원이 지원된다. 또 개발제품은 헤드부분의 단순한 설계변경을 통해 다수 디바이스를 동시에 검사할 수 있는 제품으로 확장 가능성도 이미 실험을 통해 확인됐다. 산자부에 따르면, 현재 프로브카드 세계 시장규모는 약 10억달러이며, 멤스 방식이 65%를 차지해 주를 이루고 있으나, 국내기업은 기술력 부족 등에 기인해 시장에 진입하지 못하고 있는 실정이다. 국내 시장규모는 3000억원에 이르며, MEMS 방식이 2600억원 상당에 달해 현재는 전량 수입에 의존하고 있다. <화학저널 2006/06/20> |
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