LCD용 화학증착기 국산화 성공
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산자부, 전공정 장비 4종 국산화 … 수입대체효과 2000억원 액정 디스플레이(LCD) 생산장비의 국산화 사업이 속속 성과를 내면서 제조공정의 최대 90%까지 국산장비를 이용할 수 있게 됐다.산업자원부는 수요 연계형 부품소재 개발사업의 일환으로 추진된 LCD 장비 개발사업을 통해 건식 식각기 등 4종의 전공정 장비 개발이 완료됐다고 11월21일 발표했다. 국내기업들이 개발에 성공한 전공정 장비는 건식 식각기외에 화학증착기, 트랙장비, 물리증착기 등이며 ADP엔지니어링과 주성엔지니어링, 케이씨텍, 아바코 등 4사를 중심으로 모두 70여개 부품기업들이 컨소시엄을 구성해 2004년부터 연구개발을 진행해왔다. 건식 식각기는 이온화된 가스를 뿜어 LCD에 불필요한 막을 깎아내는 장치이며, 화학증착기는 가스를 이온으로 만들어 화학반응을 통해 막을 입히는 장치이다. 또 트랙장비는 세정과 코팅, 현상을 순차적으로 진행할 수 있게 하는 장비이며, 물리증착기는 이온을 타깃에 충돌시켜 물리적 방법으로 막을 입히는 장비이다. 개발된 장비들은 LCD 제작공정 가운데서도 핵심적 역할을 하고 대당 가격이 100억원에 이르는 고가의 전공정 장비로, 지금까지 미국과 일본의 소수기업들이 독점해온 영역이다. 특히, LG필립스LCD 등 LCD 패널기업들의 수요를 바탕으로 개발대상 장비를 선정하고 개발 완료시 대기업이 구매를 사전 약속하는 <수요 연계형 방식>으로 개발이 이루어져 4종의 장비가 모두 납품일정이 확정됐거나 양산성 테스트를 진행하고 있다. 산자부 관계자는 “LCD 장비 개발을 통해 연간 2000억원 상당의 수입대체효과를 가져올 수 있으며, LCD 제조공정 중 노광공정을 제외한 최대 90%까지 국산장비를 사용할 수 있게 됐다”고 설명했다. <화학저널 2006/11/21> |
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