세정가스 충전소 폭발로 1명 화상 … 가스 주입호스 파열이 원인
화학뉴스 2012.10.04
10월3일 오후 3시16분께 울산시 남구 매암동 불소화합물 생산기업 후성에서 화재가 발생해 독성물질이 유출되고 근로자 이모(35)씨가 얼굴에 화상을 입었다.![]() 또 사고로 소방서 추산 3630만원의 재산피해가 났다. 화재는 NF3(삼불화질소) 반도체 세정가스 충전소에서 이씨가 가스 이송 자동차에 세정가스를 충전하려다 발생했다. 자동차의 가스 주입호스가 파열돼 마찰열이 생기면서 순간적인 폭발로 화재가 나면서 이씨가 얼굴에 3도 화상을 입었다. 사고로 무색무취의 압축가스로 독성이 있는 NF3가 30-40㎏ 정도 유출됐다. 불은 또 가스 이송 자동차에 옮아 붙어 자동차 타이어를 태우기도 했고 인근 야산으로 번져 1000㎡의 임야를 태웠다. 울산시소방본부는 소방차 13대와 소방인력 44명을 동원해 50분 만에 불을 진압했다. NF3는 산화성 가스로 반도체 및 LCD(Liquid Crystal Display) 공정장비의 챔버를 세정하는 특수가스이며, 후성은 NF3가 인체에 해가 없다고 밝혔다. <저작권자 연합뉴스 - 무단전재ㆍ재배포 금지> <화학저널 2012/10/04> |
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