2026년 03월 25일 (수)
2026년 03월 23·30일

동진쎄미켐, KrF‧ArF‧EUV “총공세”
반도체 전공정은 웨이퍼 제조공정, FEOL(Front End of Line), BEOL(Back End of Line) 공정으로 이루어져 있다.
FEOL은 산화, 포토, 에칭(식각), 증착(박막) 및 이온 주입으로 구성돼 있으며, BEOL은 반도체 소자를 전선으로 연결하는 금속 배선 공정으로 알려져 있다.
동진쎄미켐(대표 이준혁)은 포토 공정에 사용되는 레지스트(감광액) 중
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[게시일 2011년 2월1일]

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