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전자재료사업 공동 연구개발 절실… ◎ Photomask에 대해 간단하게 설명한다면? ◇ Photomask란 투명한 석영기판 상층에 도포된 크롬 박막을 이용해 반도체 집적회로와 LCD 패턴을 실제 크기의 1-5배로 식각해 놓은 제품으로 반도체 및 LCD 제조시 매우 중요한 원재료로 사용됩니다. 설계자가 설계한 회로를 노광시스템(MEBES: Manufacturing Electronic Beam Exposure System)을 이용해 Wafer에 묘사시키는 사진원판이기 때문에 감광물질이 입혀진 기판에 패턴을 묘사할 수 있게 해준다는 점에서 사진의 필름과 유사한 역할을 수행한다고 할 수 있습니다. <화학저널 2002/9/16> |
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