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환경 대응제품 공급이 과제… 특수가스, 기판 대형화로 소비량 급증특수가스 수요가 아시아의 반도체, LCD(Liquid Crystal Display) 생산확대 영향으로 꾸준히 신장할 것으로 전망된다. 반도체 분야는 메모리용을 중심으로 200mm 웨이퍼 생산라인 증설에 따라 전공정에서 사용하는 가스가, 액정분야도 가스라인 증설과 기판가스의 대형화에 따라 어레이 공정용 가스 수요가 신장하고 있다. 모두 10-20% 신장이 전망되고 있다. 다만, 판매가격 하락에 직면하면서 안정공급과 건전한 수익성 확보가 과제가 되고 있다. 반도체 분야는 액화막 형성에 N2O(아산화질소), 질화막 형성에 NH3(암모니아) 등을 사용하는데 클리닝공정, 에칭공정에서도 막 형성에 가스를 사용하고 있다. <화학저널 2007/6/18> |
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