SK머티리얼즈(대표 이용욱)이 순도 99.999%의 초고순도 불화수소 양산을 시작했다.
초고순도 불화수소는 일본 수출규제 대표 품목으로, 반도체 제조에 사용되는 세정가스이며 반도체 공정 미세화로 수요는 급증했으나 일본산 등 수입제품 의존도가 100%에 달하고 있다.
그러나 2019년 7월 일본이 수출규제를 시행한 후 국내기업들의 국산화 움직임이 본격화됐으며, 특히 SK머티리얼즈가 2019년년 말 시험제품 개발에 성공하고 경상북도 영주에 15톤 공장을 건설하며 국산화에 속도가 붙고 있다.
SK머티리얼즈는 2023년까지 초고순도 불화수소 국산화율을 70%로 끌어올리겠다는 목표을 세우고 있다.
이밖에 최근 고부가제품인 하드마스크(SOC)와 불화아르곤 포토레지스트(ArF PR) 개발에도 나섰다.
불화아르곤 포토레지스트 역시 수입의존도가 90%에 달하고 있어 2021년에 공장을 완공하고 2022년부터 5만갤런을 상업 생산함으로써 국산화할 방침이다.
SK실트론은 2019년 미국 듀폰(DuPont)으로부터 미국·유럽기업 소수가 글로벌 시장을 과점하고 있는 전기자동차(EV) 필수소재인 차세대 전력 반도체용 SiC(탄화규소) 웨이퍼 사업을 인수했다.
SK그룹은 소재 국산화 과정에서 확보한 역량을 중소기업 상생 협력으로 연결해서 국내 반도체 생태계 강화에 기여할 계획이다.
SK하이닉스는 4000억원의 상생펀드를 조성해서 협력기업들에게 저금리 융자를 제공하고 있다.
SK그룹 소재 계열사들은 중소 협력기업들이 고부가의 고순도 가스를 정제하는 과정에 필요한 기술과 노하우를 공유할 예정이다.
SK머티리얼즈는 2019년 11월 영주 본사에 연구개발(R&D) 시설인 통합분석센터를 설립하고 한국표준과학원 등과 함께 중기 분석 서비스 준비를 시작했다.
SK그룹 관계자는 “SK그룹의 노하우를 투자비나 전문인력 확보에서 어려움을 겪는 중소기업들과 공유해 산업계 전체 발전을 도모할 것”이라며 “반도체산업 경쟁력을 키우고 고용 창출 효과도 내겠다”고 강조했다. (K)