화학뉴스

일본이 반도체 투자를 본격화하고 있다.
네덜란드 ASML, 미국 마이크론(Micron Technology) 등 글로벌 반도체 관련 메이저들은 최근 홋카이도(Hokkaido) 지토세시(Chitose)에서 진행된 일본 신생 반도체 생산기업 라피더스(Rapidus)의 반도체 공장 기공식에 참여하고 일본 설비투자 계획을 일부 공개했다.
ASML은 라피더스가 주력 공급하는 2나노미터 프로세스 반도체 생산에 필수적인 EUV(극자외선) 노광기를 공급하고 있으며, 마이크론은 히로시마(Hiroshima) 공장을 통해 EUV 프로세스를 도입함으로써 라피더스를 지원할 계획이다.
TSMC(Taiwan Semiconductor Manufacturing) 역시 구마모토(Kumamoto) 공장을 통해 라피더스 지원에 나서기로 했다. 성숙 프로세스 반도체 공장을 건설할 예정이나 자율주행에 사용되는 자동차용 반도체를 공급하기 때문에 라피더스와의 협력 가능성이 충분한 것으로 평가된다.
ASML은 최근 차세대 EUV 고개구도(NA0.5) 기기를 개발하고 있으며 중장기적으로 개구도를 0.75까지 높이고 EUV 광원 출력은 800W를 달성하는 것을 목표로 하고 있다.
ASML의 차세대 기기가 실용화된다면 레지스트에 요구되는 감도, 해상도, 패턴 형성 LWR(선폭 거칠기) 및 LER(선 가장자리 거칠기) 등 기능 고도화가 용이해질 것으로 기대된다.
레지스트는 최근 기존 화학증폭형 뿐만 아니라 금속형에 대한 관심이 확대되고 있다.
JSR, 램리서치(Lam Research), 인테그리스(Entegris), 겔레스트(Gelest), TOK 등이 금속 레지스트를 개발하고 있으며 램리서치는 홋카이도에 라피더스 지원용 공장을 건설할 것으로 예상된다.
라피더스는 EUV 기술 획득을 위해 IBM 연구시설인 Albany NanoTech Complex에 기술자 60여명을 보냈으며 2024년에는 벨기에 IMEC(Interuniversity Microelectronics Center)에 파견할 예정이다.
IMEC는 라피더스가 LSTC와 연계해 효율적인 반도체 설계 기술 개발하는 것을 돕기 위해 홋카이도, 도쿄(Tokyo)에 새로운 센터를 설치하는 방안을 검토하고 있다.
반도체산업은 역풍 속에서도 프로세스 미세화 연구개발(R&D)이 이어지고 있다.
최대 용도인 스마트폰은 성장이 둔화됐으나 자동차용 ADAS(첨단 운전자 보조 시스템)에 2나노미터 프로세스 프로세서가 필요하기 때문에 수요 증가 가능성이 큰 것으로 평가된다.
TSMC는 구마모토 공장에서 자동차 센서용 반도체를 양산할 예정이며 덴소(Denso), 소니(Sony)는 TSMC와 라피더스에 출자하며 반도체 조달체제 정비에 나서기로 했다. (K)