시노펙스(대표 손경익)가 전량 수입에 의존하던 반도체 공정용 나노미터급 필터를 국산화했다.
산업통상자원부는 시노펙스가 경기도 화성 동탄공장에서 신규 생산라인을 준공하고 반도체 세정공정용 나노급 필터를 양산한다고 밝혔다.
반도체 세정용 나노급 필터는 세정용 화학물질의 불순물을 정제하는 필터로 성능이 반도체 수율과 직결된다. 초미세 오염물질을 제거하는 세정공정 반도체 선폭 미세화 트렌드에 따라 중요성이 커지고 있다.
산업통상자원부에 따르면, 시노펙스는 국내 수요의 100% 이상의 생산 능력이 확보했다. 신규 생산라인에서 생산한 필터는 세정 장비기업을 거쳐 삼성전자와 SK하이닉스에 공급할 예정이다.
반도체 공정용 나노미터급 필터 사업은 산업통상자원부의 소부장(소재·부품·장비) 협력 모델을 통해 123억원의 연구개발비를 지원받은 것으로 알려졌다.
이승렬 산업부 산업정책실장은 “첨단산업 경쟁력 확보 및 공급망 강화를 위해서는 수요·공급기업 간 협력이 중요하다”며 “정부는 첨단산업 초격차 연구개발 및 공급망 안정성 확보를 위한 투자를 확대하겠다”고 강조했다. (윤)