2026년 02월 21일 (토)
효성, 일본 NF3 생산재개 주시

간토덴카, 1850톤 가동 재개 … 미츠비시케미칼, 생산 중단

윤우성 선임기자
화학뉴스 2025.10.15

일본 간토덴카(Kanto Denka)가 반도체 제조용 특수가스인 NF3(삼불화질소) 생산을 재개했다.

NF3는 반도체·디스플레이 공정에서 이물질 세척에 쓰이는 특수가수로 글로벌 반도체 슈퍼사이클 진입에 대한 기대감으로 수요가 꾸준히 증가하고 있다. 
국내에서는 효성티앤씨가 NF3를 공급하고 있으며 일본은 2026년 사업 철수를 선언한 미쓰이케미칼(Mitsui Chemicals)을 제외하면 간토덴카가 유일하게 NF3를 생산하고 있다. 


간토덴카는 8월 발생한 폭발 및 화
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